在科研和工業(yè)應用場景中，氣浮平臺已經(jīng)被廣泛使用。氣浮平臺的核心工作原理是基于氣體動靜壓效應，利用氣浮軸承和電控元件構成了精密的位移平臺，讓承載面浮在氣浮導軌或軸承上，實現(xiàn)無摩擦，無抖動的平滑運動。

氣浮平臺的結構由氣浮導軌（含承載面），直線電機和光柵尺等主要部件組成。通過氣管將干凈，無水無油的壓縮空氣輸入到承載面與氣浮導軌之間的氣模間隙，氣體在氣模間隙內(nèi)流動，讓承載面在氣浮導軌上浮起來。氣體起到了潤滑劑的作用，實現(xiàn)無摩擦運動。

常見的氣浮直線導軌有如下形式：

1) 重力平衡式氣浮導軌

2) 閉式氣浮導軌

3) 永磁預載式氣浮導軌

d) 真空吸附式氣浮導軌

常見的氣浮孔結構為：

1)小孔節(jié)流結構

2) 多孔質(zhì)結構

傳統(tǒng)的以旋轉(zhuǎn)和滾珠絲杠驅(qū)動的定位精密平臺存在著傳動環(huán)節(jié)多、響應滯后大、存在摩擦、精度差等缺點，而氣浮軸承與電磁直驅(qū)結合的氣浮定位平臺則克服了以上的缺點。氣浮平臺在半導體、光刻設備、航空航天、3D加工、精密車輛和生物醫(yī)學等眾多領域中具有十分廣泛的被應用。